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電子製(zhì)造業萬級無塵車間的特點

發布(bù)時間:2018-12-13 | 點擊次數:3617

文章摘要:

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潔淨度等級要求高,風量、溫度、濕度、壓差、設備排風按需受控,照度、潔淨室截麵(miàn)風速按設計或規範受控,另外該類潔淨(jìng)室對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要(yào)求尤(yóu)甚。因為過於幹燥的廠房內極易產生靜電,造成CMOS集成損壞。一般來說(shuō),電子(zǐ)廠房的溫(wēn)度應控製在22℃左右,相對濕度控製在50-60%之(zhī)間(特(tè)殊無塵(chén)車間有相關溫濕度規定)。這時可有效地(dì)消除靜電,並使人也感覺舒適。芯片生產車間、集成電路無塵室和磁盤製造車間是屬(shǔ)於電子製造行業潔淨(jìng)車間的重要組成部(bù)分,由於電子產品在製造、生產(chǎn)過程中(zhōng)對室內空氣環境和品質的要求極為嚴格,主要以控製微粒和浮塵為主(zhǔ)要對象,同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。 

淨化工程

●電子製造廠萬級潔淨車間的噪聲級(空態):不應大於65dB(A)

●電子製造廠潔淨室垂直流潔淨室滿布比不應小於(yú)60%,水平單向流潔淨室不應(yīng)小於40%,否則(zé)就(jiù)是局部單向流了。 

潔淨車間

●電子製造廠潔淨室(shì)與室外的靜壓差不應小於10Pa,不同空氣潔淨度的潔淨區與非潔淨區之間(jiān)的靜壓差不(bú)應(yīng)小於5Pa 

● 電子製造行業萬級(jí)潔淨室內(nèi)的新(xīn)鮮空氣量應取下列二項中的最(zuì)大值

● 補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空(kōng)氣量之和。

● 保證(zhèng)供給潔淨室(shì)內每人每小時的新鮮空氣量不小於40m3。

電(diàn)子製造行業潔淨室淨化空調係統加熱器,應設置新風,超溫(wēn)斷電保護,若采用點加濕(shī)時應(yīng)設置無水保護,寒(hán)冷地區,新風係統應設置防(fáng)凍保護措施。無塵室(shì)的送(sòng)風量。


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